一、設備概況
1.1應用領域：晶圓甩干機是高潔凈度沖洗甩干設備, 具有高潔凈沖洗，高速甩干，快速烘干，效率高的特點，不同晶圓尺寸，可通過快速更換轉子來實現。是濕法清洗工藝的主要設備，設備本身有單腔室和雙腔室2種結構，體型小運行平穩。其主要用于2-8英寸半導體晶圓、掩膜板、各種基片等材料的高潔凈度沖洗及干燥工藝。
1.2名稱：雙腔室甩干機
1.3型號：CSM880S
1.4尺寸：710mm*520mm*1850mm
1.5晶圓規格：2-8 英寸
1.6材質：不銹鋼機架+10mm PP板外殼
1.7設備機架：SUS304不銹鋼材料，能夠滿足潔凈室工作環境。
1.8腔體和載體采用耐腐蝕SUS316L不銹鋼并電化學拋光。片架載體可方便更換。
1.9電機及轉子經精密的動平衡處理，減少設備共振。
二、工藝流程
去離子水旋轉沖洗＋離心甩干氮氣烘干
建議工藝參數：
階段 | 沖水 | 吹凈 | 烘干1 | 烘干2 |
時間 | 60s | 30s | 200S | 100S |
速度 | 800r/min | 1000r/min | 1800r/min | 1500r/min |
介質 | 去離子水 | 氮氣 | 氮氣 | 氮氣 |
氮氣溫度 | 無 | 0° | 80° | 80° |
三、主要技術參數
項目 | 主要性能指標和參數 |
加工硅片尺寸 | 2-8英寸圓片 |
單次甩干數量 | 50片 |
工位數量（個） | 2 |
碎片率 | ≤0.01% |
顆粒增加值 | 需與客戶確認 |
旋轉速度 RPM/MIN | 200-2200 |
甩干時間 | 5-8min |
腔室及氮氣加熱方式 | 電加熱器 |
氮氣壓力 | 0.25-0.3Mpa，氮氣管接口3/8” |
氮氣耗量 L/min | 90 |
純水壓力 | 0.25-0.3Mpa， 管接口3/8” |
排水管 | 40mm圓管 PVC管 |
控制系統 | 三菱PLC可編程控制器 |
顯示 | 4.3寸觸摸屏 |
電源 | AC220V |
整機功率 | 6 KW |
外型尺寸（深*寬*高）mm | 710mm*520mm*1850mm |